CVD管式爐由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成，大溫度可以達(dá)到1200度，可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等，真空可以達(dá)到10-3Pa，供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì)，混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
 

　　CVD管式爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。
 

　　2、氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì),提高操作便捷性。
 

　　3、中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。

　　CVD管式爐使用注意事項(xiàng)：
 

　　1、冷爐使用時(shí)，由于管式爐膛是冷的，須大量吸熱，所以低溫段升溫速率不易過快，各溫度段的升溫速率差別不易太大，設(shè)置升溫速率時(shí)應(yīng)充分考慮所燒結(jié)材料的物理化學(xué)性質(zhì)，以免出現(xiàn)噴料現(xiàn)象，污染爐管。
 

　　2、定期檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。
 

　　3、使用或長時(shí)間不用后，要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開裂。爐溫盡量不要超過額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。
 

　　4、爐膛若采用石英管，當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正?，F(xiàn)象。